光伏玻璃车间净化工程-上海冠石净化

　　太阳能是一种快速增长的能源形式，太阳能市场在过去十年中也取得了长足发展。利用太阳能的佳方式是光伏转换，就是利用光伏效应，使太阳光射到硅材料上产生电流直接发电。以硅材料的应用开发形成的光电转换产业链条称之为“光伏产业”，包括高纯多晶硅原材料生产、太阳能电池生产、太阳能电池组件生产、相关生产设备的制造等。

　　太阳能是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应，将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统，有独立运行和并网运行两种方式。

　　光伏硅晶片是由硅材料加工而生的一种圆片，是生产光伏太阳能的一种必须材料，其多晶硅、太阳能电池生产制造大部分需在净化车间内进行。其主要配套设施有：

　　1、从硅片制备到器件生产分为腐蚀、印刷等阶段，区分为Class 1K 、10K分产品需求有不同等级净化车间隔间。

　　2、外延片、芯片、封装相关生产流程；

　　3、太阳能电池片的工艺流程为：装片→超声波清洗→制绒→去离子清洗→IPA脱水→扩散→等离子体边缘刻蚀→去磷硅玻璃→IPA脱水→PECVD→电机烧结→分类检测→包装入库。

　　4、压缩空气、气体、有机排气、酸碱排气、热排气、制程冷却水、真空、纯水等生产配套系统；

　　根据不同工艺区间，设置不同净化等级的净化车间，区分不同净化隔间的联系与分隔，不同隔间之间的压差与气流走向，是光伏太阳能净化车间设计时要重点考虑的方向。按照生产工艺，合理化划分人物流走向，既满足生产习惯，又做到节能环保。比如在上述系统中，扩散和PECVD是关键工序，各工序必须制订严格的工艺要求和工艺参数。

　　光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组（MAU）和循环空调机组（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷冻水，加热采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿，洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。

　　1.CP室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，CP室工艺设备用酸量较多，采用全新风空调机组（MAU-3）+过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-过滤器送风-洁净区。

　　2.ML室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。

　　3.CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级，换气次数取为50次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

　　4.7级、6 级的洁净室采用的气流形式为顶部过滤器送风口送风，房间侧下百叶风口回风。其气流流程为：新回风混合!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。

　　5.洗净室、品质检查室净化级别为7 级，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+风机过滤器单元（FFU)）的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风，房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%，洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求，需在循环机组（AHU）内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为：新回风混合-化学过滤器（NH4+）-化学过滤器（SQx）-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元（FFU）-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

　　好多光伏净化车间建设完成后，都会遇到同样的问题。洁净度已经达标，为什么产品上仍有污染？相同的工艺和环境参数，为什么我们的能耗比别人高？怎样的光伏净化车间洁净室规划设计方案是节能的、符合工艺要求的，投资省、运行费用低、生产效率高？这是暖通工程师和甲方都需要思考的问题。