光刻机

老报纸：

“上海大规模集成电路会战组受四机部委托，于一九七七年五月十四日至十九日在江苏吴县主持召开了光刻机技术座谈会。来自全国有关光刻机研制、使用的四十二个单位67名代表参加了这次会议。”

后来，大规模集成电路和光刻机等项目下马。