干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵。

干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。

干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初，由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。

工作原理及其特点

干式螺杆真空泵是由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。

于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口。

干式螺杆真空泵按照其中螺杆类型划分可分为等螺距和变螺距两类，而变螺距中又分为螺杆二段螺距大小不等和螺杆螺距连续变化两种。

螺杆式真空泵与罗茨型、爪式真空泵比较

·气路比较

·抽速特性比较

干式螺杆真空泵的特点

干式螺杆真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠且寿命长，操作维护方便；

由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%能耗，排气温度较低；

干式螺杆真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行，噪声低；

具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响；

由于干式螺杆真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体，微小颗粒不容易堆积，泵腔内的剩余物也容易被清除；

材料配置及特殊涂层

螺杆真空泵的涂层

由于干式真空泵极大多数是用于抽除腐蚀性或危险性气体，为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或生锈并延长泵的使用寿命，根据不同的应用可选择下列不同的涂层：

1.PTFE (聚四氟乙烯)涂层：耐化学性能好，但涂层寿命较短，熔点低于300℃且耐磨性较差。

2.NIFA涂层：对所有的化学物质均具有良好的耐腐蚀性，耐机械划伤的性能好；

3.NIFLON涂层：良好的耐磨性，对基材具有良好的结合力，对极大多数化学物质具有良好的耐蚀性，耐机械划伤。

性能参数

下述是7种不同规格型号的变螺距螺杆真空泵的技术参数（点击图片放大）。

使用注意事项

螺杆真空泵背压：螺杆真空泵通常的排气压力是大气压，在配用电机功率不变的情况下最大允许背压到0.3barg。

如果螺杆真空泵在高背压下运行，会造成抽速下降、极限真空变差、排气温度过高等问题。

进气温度：螺杆真空泵进气温度15℃～60℃，在此温度范围内泵可连续长期工作；进气温度超出此范围则需采取必要措施。

冷却水温度：冷却水是在冷却水温度为20℃下的流量，冷却水最高的允许温度为32℃，但必须适当加大冷却水流量。

处理液体和固体的能力：螺杆真空泵的被抽气体可以夹带一定量的液体和微小颗粒。

应用行业

1.低压化学气相沉积中的多晶硅制工艺；

2.半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺， 不希望微粒混入泵油中， 而希望微粒排出泵外， 则使用干式螺杆真空泵；

4.化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等， 防止有机溶剂造成污染；

5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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