产品说明

我们产品组合中的新品还有POLOS SPIN5000A。这种强大的旋转涂布机系统是专为研究和所有应用的可变过程。它的特点是能够完全定制和全自动操作。POLOS SPIN5000A代表了下一代全场旋涂系统。POLOS SPIN5000A是一款独立的全自动旋涂系统。钢外壳保证了无污染的工作区域，其高端组件确保了500 x 500 mm基板和更大基板的可重复、可编程旋转过程。如果您需要大于500 x 500 mm的基板尺寸，请联系我们！

特征

• 多达3个喷嘴的自动分配(可选)

• 8.5英寸触摸屏

• 真空泵

• 上盖(可选)

完全可定制，全自动操作

无污染工作区

高端组件

多达3个喷嘴的自动光刻胶分配器(可选)

产品编号

自旋5000A

材料

钢制外壳

基板尺寸

500毫米或10英寸x 10英寸的正方形基板及更大尺寸

模型

独立的

系统类型

自动化系列

旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供无限的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的最好的实验室旋涂机