《炬丰科技-半导体工艺》拉晶过程的稳定性和伺服控制

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：拉晶过程的稳定性和伺服控制

编号：JFKJ-21-073

作者：炬丰科技

介绍

单晶材料的生产是现代世界许多技术成就的基石。多年来，特别是自大约 40 年前晶体管诞生以来，晶体生长技术不断被发明和完善，以满足基础研究和广泛应用的需要。生产方法可分为三类；

- 熔体生长

-从解决方案中成长

- 从气相生长

在本次演讲中，我将讨论当今最重要和最广泛使用的熔体生长技术，即拉晶或直拉法。我认为这种技术对于听众中的每个人都不是很熟悉文章全部详情：壹叁叁伍捌零陆肆叁叁叁，因此作为介绍，我将概述拉动过程的主要特征。

1917 年发表的原始仪器见图 1。测量锡、铅和锌等低熔点金属的结晶速度。

（1）使用晶种来确定拉制材料的结晶方向；

（2）通过使用熔体的温度控制来控制晶体形状，即从晶种的直径增加其直径；

增长区的几何形状----半月板   略

固有稳定性  略

晶径伺服控制   略

结语

在本次演讲中，我们讨论了拉晶过程的核心方面。你们中的一些人可能有这样的印象：目前的知识和当今的现代设备，可以毫无困难地实现过程的自动控制。一个相反的例子应该作为警告。

该图显示了生长的钆镓石榴石的致命发展。最初，晶体以有规律的方式生长，直径得到很好的控制，突然形成螺旋形。这种奇特的行为被认为是由熔体中的杂质引起的，但其机制尚不清楚。很难说晶体生长者在这里只有小问题。

如果想要全面了解直拉过程，熔体中发生的复杂现象确实具有挑战性。尤其是对流驱动的现象会产生各种不良影响，该领域的最新发展，包括流体流动磁阻尼的应用，已经表明朝着生产具有完美均匀特性的晶体的最终目标取得了很大进展。  略