EDI超纯水设备为集成电路产业保驾护航

　　随着现在经济的不断发展，集成电路的设计对于水质要求也是不断提高，所以在生产中需要用到超纯水来保障其性能。未来几年，集成电路制造商数量和制造能力的增加将推动集成电路行业对超纯水制造的需求，包括“数量”需求的增加以及由于更精确的集成电路制造而导致的纯水纯度和稳定性的“质量”的提高。

　　混床离子交换技术一直作为超纯水制备的标准工艺，在超纯水生产中应用广泛。然而，由于其需要周期性的再生且再生过程中消耗大量的化学药品(酸碱)和工业纯水，并造成一定的环境问题，因此需要开发无酸碱超纯水系统。

　　传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需求，于是将膜、树脂和电化学原理相结合的EDI技术成为水处理技术的一场革命。其离子交换树脂的再生使用的是电能，而不再需要酸碱，因而更满足于当今环保要求。

　　EDI设备是应用在反渗透系统之后，取代传统的混床离子交换技术生产稳定的超纯水。超纯水系统是将反渗透水处理设备、EDI设备和抛光混床相结合制备超纯水的设备。这不仅是一种制备超纯水的新技术，也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。

　　超纯水设备可连续稳定生产优质超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计紧凑，占地面积小，可为企业节省大量空间。与传统方法相比，超纯水设备具有许多优点，可以连续稳定地制备高质量的超纯水。

　　编辑：杜鹃花 技术：木子

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