洁净室的压差如何检测？要求及检测步骤介绍【详解】

压差测试仪器：

压差测量可使用微差压计、斜管压力计、指针式压力计或电子式压力计。总之，只要测量范围和准确度满足的仪器即可。压力表的精度要求为读数的5%，视量程的压力设计值而定。通常0~5 mm Aq（0-50 Pa）可以涵盖室内外压差的测量。

压差检测要求：

静压差的测量要求是洁净区的所有门都关闭。在洁净平面上按洁净度由高到低的顺序进行，直至检测到与外界直接相连的房间。测量管口可位于室内任意位置，不受气流影响，测量管口表面与气流的流线平行，测量和记录的数据应精确到1.0Pa。

压差检测步骤：

1、首先将所有门关闭。

2、用微差压计测量洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压力差。

3、然后记录所有数据：压差标准要求根据洁净室设计或工艺要求确定被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室的静压差不应小于5Pa。

(2)洁净室与外界的静压差不应小于10Pa。

(3)空气洁净度等级严格于5级(100级)的单向流洁净室开门时，门内0.6m处室内工作面的粉尘浓度不应超过粉尘浓度限值的相应级别。

(4)如达不到上述标准要求，应重新调整新风量和排风量，直至合格。