氦质谱检漏仪离子源的作用是什么？

　氦质谱检漏仪离子源由灯丝(阴极)、灯丝槊、离化室及离子加速极组成。它的作用是使气体电离，形成一束具有特定能量的离子。尽管结构多种多样，但最主要还是尼尔型离子源。灯丝为直径0.18~0.20mm的钨丝，通过灯丝架被准确安放在离化室电子人口上方约0.5mm处，它通过直接加热而发射电子。离化室是一扁平的矩形盒子，其顶部和侧面各开一个狭缝，分别供热电子射人和离子引出之用。

氦质谱检漏仪质谱室

离化室与灯丝之间加200V的电离电压，在该电压下，热阴极发射的电子能将离化室中的气体电离。离化室与离子加速极间加300~400V可调电压，即为加速电压，加速离子使之穿过离子加速极正面的矩形缝隙进入磁分析器。若用交流放大器放大离子流时，离化室与加速极之间还叠有5~7Hz、15V的交流调制电压。氦质谱检漏仪离子加速极位于离化室正面约5mm处与外壳相连接地。

离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。其结构如图所示。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。

氦质谱检漏仪离子源示意图

灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场的作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，最后打到分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电原U（即离子加速电压）作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。

由于离子是由中性气体分子失去Z个带负电荷e的电子而形成的，所以离子电荷为正的Ze。由于各种气体的离子均受同一电场的加速，当它们的电荷量相等时，它们的能量相等，但由于质荷比不同，故运动速度也就不同。

安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 

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