8月17日电巢直播《MEMS半导体器件工艺与技术》

《MEMS半导体器件工艺与技术》

1、直播内容简介

半导体集成电路技术，诞生于1960年代初，此后按摩尔定律持续演进和发展了60年，给电子产业、信息技术乃至人类社会带来了深刻而复杂的巨大变化，并不断推动经济和社会各领域加速发展。

伴随半导体微纳加工技术的快速发展，人们始终在探求这种技术的更多应用领域，并取得了大量成果。MEMS技术就是其中一项极为重要的关键技术，它将信息采集和控制技术提升到了崭新的高度。

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微电子机械系统）技术源于半导体加工技术，通过构建微机械装置并运用力学原理实现技术目标，再与半导体芯片相互配合实现复杂且强大的产品目标。自1970年代诞生至今，已发展出如陀螺仪、加速度仪、数字微镜、喷墨打印头、各类微型传感器为代表的大量尖端技术产品，在工业自动化、航天军工、信息技术、消费电子等产品领域发挥着难以替代的巨大作用。

本次课程主要探讨和分享几种典型的MEMS产品及其技术要素。通过剖析其细节，帮助大家揭开其神秘面纱。

2、讲师介绍

文伟老师：

原海思无线模数芯片团队资深专家

EDA365论坛特邀版主

曾就职于邮电部第一研究所TDMA项目组（核心骨干）、华为总体技术组核心成员（交换机技术奠基）、华为固网产品总体技术团队（资深技术顾问，疑难核心技术专家）、海思无线产品模数芯片团队（产品与技术研发负责人）

3、直播要点

MEMS产品概况、技术特点

MEMS原理透视

硅麦克风、振荡器、气压计、陀螺仪、数字微镜

MEMS产品加工工艺情况

国内外现状与展望