真的很细！355nm紫外激光器在微流控芯片微通道刻蚀的应用
微流控芯片，又称芯片实验室（Lab-on-chip）或微全分析系统（micro-Total Analytical System），是一种以在微米尺度空间对流体进行操控为主要特征的科学技术，也是微流控的核心部件，主要用于化学、流体力学、材料科学和生物医学等学科或交叉而成的创新型研究。
微流控芯片的重要意义在于，借助仿生结构以及其他材料，将传统大型实验室”微缩“在一块平方厘米量级的芯片上，开展包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等功能，即实验室的微型化和集成化，不仅携带方便，还可重复使用，大大缩短了时间。如通过微流控芯片模拟组织和器官水平的生理功能，可以弥补传统细胞组织培养、动物实验或样本处理的周期长、耗费高等不足，还兼具了动态实时监控和观察的优势，已经成为生物学研究过程中不可或缺的重要工具，实现试剂耗材的最大利用效率。
目前，常用于微流控芯片制作的材料有：硅片、石英、玻璃、高分子聚合物（包括PMMA、PC、COC、PDMS、Flxdym、PP、PS、PET……）等，其中高分子聚合物由于成本低、易成型等优势应用范围较广。将高分子聚合物制成微流控芯片的技术主要有基于模具的热压法、模塑法、注塑法和直接加工的激光刻蚀法等。由于微流控芯片通道尺寸在数十微米至数百左右，对精密机加工系统的要求较高。热压法、模塑法、注塑法主要用于工业大批量生产，缺点是高精度模具制作周期长，且需常更换，整体成本高。
激光刻蚀是非接触式、高效率的加工方式，是利用高能量密度激光束在聚合物上形成结构，加工效率高，光斑直径小，可以实现微尺寸的通道刻蚀，且可以通过软件实时修改设计图和参数，刻蚀线路更加灵活多样，特别满足科研、实验室等机构院所的实验方案迭代快，响应速度快的需求。如今，常用的激光微加工+热键合法制备集成有滤膜的PMMA芯片、激光微加工+双面胶粘合法制备COC芯片与多层柔性PET芯片、激光微加工法在PMMA基材上加工十字通道+键合后密封通道与通孔阵列结构等。
纳飞光电355nm紫外纳秒激光器，波长短，材料吸收率高，单光子能量高，能量集中，脉宽窄（25ns），加工聚合物材料时产生的热作用程度低，热影响区小，可视为”冷“加工，可减少热能对聚合物材料的损伤，有效减少局部微裂痕和残渣的产生，容易获得平整度高的通道。而且光束质量高（M2＜1.2），以及易聚焦的特性，聚焦后光斑直径可达微米量级，加工时可以获得微流控芯片通道所需的尺寸，且线宽和刻蚀深度及品质都能获得可靠保障。
