氦质谱检漏仪为什么要使用防返油阀？-深圳华尔升

防回油阀，也称为压差阀。你知道为什么氦质谱检漏仪应该使用防回油阀吗？氦质谱检漏仪中使用防回油阀的效果：通常避免机械泵中的油。当检漏仪停止运行时，从机械泵返回检漏仪阀座，导致检漏仪不能正常使用。

防返油阀作用：

机械泵的进气口一般安装防返油，另一端与分子泵的出气口相连。

通电后，防回油阀内部打开，使分子泵出口和机械泵进气口断开。气旋沿分子泵进入机械泵。

断电后，防回油阀内部关闭，外部气体沿阀门内部通道进入阀门排气口，使机械泵进气口达到大气压。

避免机械泵油从进气口返回。

优点:防回油阀，可以很好的避免机械泵故障，导致返油到检漏仪阀座和分子泵的概率。它可以更好地维护检漏仪。

缺点：防回油阀的密封和排气部件由硅胶或氟胶制成。这些材料在长期使用过程中会老化，导致防回油阀的性能显著降低。如果不定期维护，则无法达到良好的防回油效果。

机械泵回油的主要原因是机械泵油中存在异物或其他颗粒中的异物，残留在机械泵进气口内的防油放电设备或防油回油阀的密封圈上。损坏机械泵和回油阀的密封。分子泵的出风口仍保持负压，并将机械泵的油吸入阀座。

那么上述即是有关氦质谱检漏仪为什么要使用防返油阀的介绍，希望能帮到您~

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