《炬丰科技-半导体工艺》钝化方法

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：钝化方法

编号：JFKJ-21-326

作者：炬丰科技

钝化方法和钝化植入物

  本发明提供了与常规硝酸钝化相比提供优异耐腐蚀性和表面性能特征的新型钝化植入物和钝化方法。该方法使用金属假体植入物在钝化涂层，从而使植入物在生物环境中更加稳定。 

钝化膜的性质

  被动膜的机械破坏可能是由于植入物的运动而摩擦到相邻的骨骼，或由于与反向轴承表面（例如超高分子量聚乙烯）的关节连接。在再钝化过程中，会产生大量溶解的金属离子，这取决于表面破坏程度和植入物未受干扰表面部分钝化膜的质量。金属离子释放到身体环境中的长期后果是不太了解；然而，普遍认为应尽量减少此类释放。因此，被动表面膜的有效性是植入物生物相容性的一个重要方面。

钝化膜的性质主要取决于金属及其形成条件。该表层在特定环境下提供的保护主要取决于钝化膜在特定环境中的稳定性。

   表1揭示，与硝酸钝化相比，本发明的方法导致显着改善的性能特征，如较低的比率值所示。通过本发明方法钝化的样品表现出显着更低的腐蚀电流密度(I)和更低的正腐蚀电位(E)。此外，通过本发明方法钝化的样品对初始（即钝化之前）表面条件也不太敏

感。