Cu纳米薄膜，Ag纳米薄膜，关于热处理工艺对Ag纳米薄膜的影响
Cu纳米薄膜，Ag纳米薄膜，关于热处理工艺对Ag纳米薄膜的影响
今天小编整理并分享关于Ag纳米薄膜，热处理工艺对Ag纳米薄膜的影响：
采用MBE在Si(100)衬底上制备Ag纳米薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)和傅立叶变换红外光谱仪对Ag纳米薄膜的形貌和红外透射谱进行研究。
实验过程：
衬底为单晶(100)Si片。先对衬底进行超声清洗，烘干后放入主真空室中,然后将衬底温度升至63o℃烘烤3~5min,以除去衬底表面吸附的杂质,最后选择不同的衬底温度进行蒸镀,对衬底温度为100℃生长的Ag薄膜采用不同的退火温度退火 1h。源蒸发温度均为825℃,蒸镀时间均为35min。
不同退火温度制备Ag薄膜的SEM形貌与红外进射的研究
图⒉为衬底温度100℃蒸镀所得Ag 薄膜经不同退火温度处理的SEM形貌图,其中(a)、(b)、(c)的退火温度分别为未退火.400℃退火和600℃退火。可见退火的Ag薄膜颗粒尺寸较未退火的稍大,颗粒尺寸分布范囿却稍小些,随着退火温度的升高Ag 薄膜表面平整度变高,Ag薄膜的颗粒性变得明显。
从微滴成核理论的成核势垒随颗粒尺寸变化的曲’线关系可知:随颗粒尺寸的增加成核势垒先增加后减小,临界核的尺寸对应的势垒最大,颗粒尺寸大于临界核后曲线梯度减小。这里我们只须讨论大于临界核的稳定的颗粒,显然大颗粒分解所要跨越的势垒小;于小颗粒,而小颗粒长大所导致体系自由能的降低大于大颗粒,所以退火处理使得薄膜中大小不等的各颗粒存在着不同程度的扩散和吸附,大颗粒容易扩散,而小颗粒易于吸附,因此最终的平衡状态即为各颗粒尺寸大小趋于均匀,所以Ag薄膜的颗粒性变得明显,平整度变高。
研究结果表明:随衬底温度的升高Ag薄膜的平均晶粒尺寸逐渐增大;随退火温度升高Ag薄膜的颗粒性明显,对红外吸收增强,且吸收带出现宽化.
纳米薄膜可以通过多种方法制备，包括物理气相沉积（PVD，Physical Vapor Deposition）、化学气相沉积（CVD，Chemical Vapor Deposition）、溅射（Sputtering）、溶液法、自组装等技术。这些方法可以控制纳米薄膜的厚度、形貌和结构，从而调控其性质。
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