超纯水设备应用 为芯片产业崛起提供技术保障

　　芯片是指载有集成电路的半导体元件。犹如人的大脑一样，接收信息，发出指令，控制着搭载芯片的机器。芯片产业供应链十分复杂，每一环节都有其困难度尤其是对水质要求更为严格。芯片生产用水为电阻率大于18MΩ·cm，接近于18.2MΩ·cm的超纯水。超纯水的生产难度很高，一般工艺很难达到其纯度。超纯水生产工艺是十分复杂的，因此需要取用好几倍的原水。生产一个2g重的芯片大概需要32公斤的水资源。

　　传统超纯水制备工艺通常采用离子交换树脂进行，此工艺需要进行树脂再生，既耗费物力又耗费人工。采用高效反渗透技术和EDI设备，结合新型反渗透膜分离技术和EDI技术制备超纯水。与传统工艺相比，该工艺运行成本低且运行可靠，整体化程度高、易于扩展、增加膜数量即可增加处理量。自动化程度高，遇故障立即自停，具有自动保护功能。膜组件为复合膜卷制而成，具有较高的溶质分离率和透过率。能耗低、水利用率高、运行成本低。

　　超纯水设备应用，为芯片产业崛起提供技术保障，成为了芯片产业生产的坚强后盾。

　　编辑：杜鹃花 技术：木子

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