SPI接口从ZYGO 7702干涉仪获得位置信号

PI的E-712控制器负责实际控制，控制定位器，ZYGO 7702并获取内部传感器信号。此外，控制器通过BiSS或SPI接口从干涉仪获得位置信号。可以在E-712.1AN控制器中决定是内部传感器信号还是干涉仪信号用于伺服闭环。仅通过内部传感器进行参考。也可以使用干涉仪信号作为伺服回路之外的上级位置反馈。然而，以下不对此进行更详细的讨论。

内部传感器和干涉仪的位置信号产生的噪声如图3所示，无控制和静止。“d_max”的指定值是测量信号的峰值。在干涉仪的情况下，可以看出，与内部传感器相比，位置噪声20更小，这基本上允许更高的精度。

在闭合伺服回路中使用内部传感器进行测量的结果如图1所示。红色信号显示内部传感器信号设置为5nm的步长刚好低于噪声带。另一方面，在干涉仪信号的情况下，步骤是清晰可辨。此外，位置控制的不精确性也清晰可见分辨率限制。