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SPS POLOS喷涂机系统 高精度纳米颗粒涂层

2023-06-13 15:18 作者:北京汉达森谭晶-谭晶  | 我要投稿

POLOS为半导体、生命科学、食品、实验室和制药行业提供高端设备,特别是有针对性的支持;大学、R&D研究所和小型生产设施。我们的产品组合包括用户友好和高度耐用的系统,主要在光刻和处理过程领域。POLOS成立于2003年,我们的第一个产品线开始;单晶片旋涂系统。截至今天,这些系统已在全球售出4000多台。多年来,我们有幸推出了许多其他新的POLOS产品。我们根据长期经验和用户反馈精心开发我们的设备,以支持您的过程。

产品说明

我们的POLOS台式超声波喷涂系统用于R&D和小批量生产领域的精密喷涂。典型的应用包括用于各种晶片材料的光致抗蚀剂涂层和为薄膜工艺产生功能层。

全新POLOS UC330系统允许高精度纳米颗粒涂层,与标准光刻胶应用技术相比,光刻胶消耗效率更高。在我们的超声波喷涂系统中,材料利用率超过95%,这将使我们的用户降低光刻胶消耗的成本,并提高他们的加工效率。倾听客户的需求,我们设计了一个紧凑的系统,具有易于使用的软件控制,能够从各种超声波喷嘴和免费选项中进行选择,让您找到适合其过程应用的完美匹配。

POLOS UC330标准配备集成注射泵、载气调节、超声波发生器和可控运动系统。拥有专利的超声波喷涂技术,该系统可以提供高度均匀和高效的精细喷涂。


高精度纳米粒子涂层

与标准光致抗蚀剂应用技术相比,更有效的光致抗蚀剂消耗

具有易于使用的软件控制的紧凑系统

多种超声波喷嘴和免费选项

我们的POLOS台式超声波喷涂系统用于R&D和小批量生产领域的精密喷涂。典型的应用包括用于各种晶片材料的光致抗蚀剂涂层和为薄膜工艺产生功能层。

全新POLOS UC330系统允许高精度纳米颗粒涂层,与标准光刻胶应用技术相比,光刻胶消耗效率更高。在我们的超声波喷涂系统中,材料利用率超过95%,这将使我们的用户降低光刻胶消耗的成本,并提高他们的加工效率。倾听客户的需求,我们设计了一个紧凑的系统,具有易于使用的软件控制,能够从各种超声波喷嘴和免费选项中进行选择,让您找到适合其过程应用的完美匹配。

POLOS UC330标准配备集成注射泵、载气调节、超声波发生器和可控运动系统。拥有专利的超声波喷涂技术,该系统可以提供高度均匀和高效的精细喷涂。


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