原子级沉积，扩展摩尔定律
原子级沉积，扩展摩尔定律
原子级沉积方法的特点是薄膜的保形性和均匀性。原子级沉积可以为具有高纵横比的多种结构带来垂直方向的横向分辨率，包括侧壁、纳米线、纳米管等。自对准双图案是垂直分辨率的典型示例。原子级沉积可以提高纳米图案化的精度，获得一些特殊的结构，可以进一步减小特征尺寸，提高晶体管的密度，从而在短期内促进摩尔定律的延续。
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