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低温等离子清洗机工作原理介绍

2023-10-11 15:46 作者:Plaux等离子体材料改性  | 我要投稿

低温等离子清洗机主要由等离子体发生器、气体供给系统、反应室、真空系统、电极及高压电源等组成。

1. 等离子体发生器

等离子体发生器是低温等离子清洗机的核心部件,其主要功能是产生等离子体。等离子体发生器一般由微波源、反射器、感应线圈、介质室等组成。微波源产生微波信号,经过反射器反射,再由感应线圈封装的介质室内发生介质放电,产生等离子体。

低温等离子清洗机

2. 气体供给系统

气体供给系统主要由气体瓶、气路系统、流量计等组成,其主要功能是供给反应室内所需的气体。气体供给系统一般包括氧气、氮气、氩气等。

3. 反应室

反应室是低温等离子清洗机中进行清洗的主要场所,其主要功能是提供清洁空间,以便对清洗物进行清洗。反应室一般采用不锈钢材料制成,具有较好的耐腐蚀性能。

低温等离子清洗机

4. 真空系统

真空系统主要由泵组、阀门、真空计等组成,其主要功能是提供反应室内的真空环境。真空系统一般采用机械泵、分子泵等。

5. 电极及高压电源

电极及高压电源主要用于产生等离子体,并对其进行调节。电极一般由电极板及电极环组成,高压电源则用于提供足够的电压,使电极产生强电场,从而产生等离子体。

低温等离子清洗机

低温等离子清洗机解决用户各类材料、产品的表面处理难题,是出色的表面工艺解决方案。

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