2023国产EUV光刻机最新进展及突破方向！中国实打实从各个角度、各个全面方向发
一、EUV光源
13.5纳米，1981用了十年才得出13.5纳米方案才能实现EUV光刻机，花了几十亿美金
二、 用什么原子
2015年找到了答案。氙在电离后能够产生EUV的离子其能量转换效率很低，只有0.45%到1% .而锡在等离子体状态下都能产生13.5的极端紫光外，其转换效率非常高，0.7%~6%。 至于锂0.1%~3%。 所以EUV光源商业化技术选择了锡
三、氙和锂如何电离原则产生等离子体
- LPP 激光等离子体技术(ASML目前采用的技术，已经实现输出250功率的EUV)
- DPP 气体放电等离子技术(其转换效率太低)
- LDP 激光辅助放电技术(日本优志旺公司拥有，与LPP同时出现，但 功率无法快速提高。2019年卖出了第一台光源 )
LPP是ASML采取的技术。
LPP需要大功率激光器，2W的功率。只有美国和德国可以供应。
FPGA: 并行计算
最前沿的技术是教你怎么用积木搭个房子。但是不会教你怎么造积木 。在欧美的环境里，这些积木每一种都有专门的公司生产，有钱就能买到的。而中国其实不是不知道怎么搭积木 ，而是没有积木 买不到积木。很多积木自己造不出来 。而造积木这事儿其实并不是哥德巴赫猜想，费马定理 ，必须要天才才能解决 。更多的是一个手艺，是几代人积累下来的细致活儿，做工考究，设计考研。
给ASML供应镜头的公司是德国大名鼎鼎的蔡司公司。特制镜头数值孔径要超过0.5.
- EUV光刻机的光源IF功率多少瓦。
- 稳定输出EUV功率多长时间
大功率激光器种类
- 红宝石激光器
- 二极管激光器
- 二氧化碳激光器
上万瓦的激光器，世界上功率最大的激光器是激光武器。但不能持续放光。
国防科技和商业科技的区别。军工和商业不一样。
汉芯和武汉宏芯的闹剧？
