双螺杆真空泵内压缩转子的两种不同结构

干式真空泵是一种能在大气压到10-2Pa的压强范围内工作，抽气流道中不使用任何油类和液体，并且能连续直排大气的真空泵。

双螺杆真空泵是干式真空泵的一种，出现于20世纪90年代，是一种变容式气体输送泵，具有清洁无油、可直排大气、机械振动与噪音小、对介质的粘度不敏感、适应性强、可靠性高等优点，被广泛应用于半导体、镀膜、化工等行业，具有良好的市场前景。

齿间容积内的热力学过程分为四个不同的过程，包括吸气过程、传输（压缩）过程、反冲过程和排气过程。

传统的螺杆真空泵在输送阶段是等容的，直到排气即将结束时才对工作气体进行压缩。

当齿间容积内的气体压力低于外界压力时，一旦齿间容积与排气口连通，反冲过程就会发生，会带来额外的能耗、温升、噪声等问题。

而内压缩式螺杆真空泵在气体输送阶段已开始对工作气体进行压缩。内压缩式螺杆真空泵虽然容易造成气体在泵腔内的物理化学变化，以至于产生液化或固化。

但同时也具有能够有效地抑制排气口气体反冲与喘振现象、提高压缩比、降低泵腔内部工作温度、减少驱动功率节约能耗等突出优点，是螺杆真空泵转子的研究方向之一。

螺杆转子是螺杆真空泵的核心部件，为了实现工作气体的内压缩，需要使得齿间容积从进气侧到排气侧不断减小。

端面型线与螺旋线是螺杆转子的两大设计要素，故而转子内压缩的实现方式主要有两种：

一是减小螺旋线的螺距以减小齿间容积的长度，即为变螺距；

二是改变截面型线的参数，如改变齿顶圆与齿根圆半径（同时保证中心距不变）以减小齿间容积的高度，或者改变齿顶圆齿曲线的圆心角以挤压齿间容积的体积，这样的转子可称为变截面螺杆转子。两种内压缩的实现方式也可以结合使用。

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