《炬丰科技-半导体工艺》MEMS（微机电系统）

摘要：MEMS 器件非常小；它们的成分通常是微观的。杠杆、齿轮、活塞、电机甚至蒸汽机都由 MEMS 制造（图 2）。然而，MEMS 不仅仅是机械组件的小型化或用硅制造东西（事实上，MEMS 一词实际上具有误导性，因为许多微机械设备在任何意义上都不是机械的）。MEMS是一种制造技术；使用批量制造技术设计和创建复杂机械设备和系统及其集成电子设备的范例。

传感器是一种从周围环境测量信息并响应其测量的参数提供电输出信号的设备。多年来，这种信息（或现象）已根据能量域的类型进行分类，但 MEMS 器件通常与多个域重叠，甚至不属于任何一个类别。这些能源领域包括：

· 机械 - 力、压力、速度、加速度、位置

· 热-温度、熵、热、热  流

· 化学-浓度、组成、反应  速度

· 辐射-电磁波强度、相位、波长、偏振反射率、折射率、  透光率

· 磁场强度、磁通密度、磁矩、  渗透性

· 电压、电流、电荷、电阻、电容、极化

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