多晶硅尾气能够余热回收后再利用吗？
多晶硅作为半导体产业的基础材料，生产需求在逐年增大，排出的尾气对环境带来的污染问也在逐渐被关注。
一、多晶硅尾气排放情况
多晶硅的尾气源于合成、氢还原工序工序在，产生的尾气成分主要有SiCl4、SiHCl3、HC1、H2、N2及少量的金属氯化物，成分整体较为复杂有较大的环境污染威胁，传统的处理方法多采用碱洗喷淋塔工艺 ，多晶硅生产中废气、废液直接进入碱液（NaOH或CaO溶液)喷淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2（粉）、Na2SiO3等，然后送至后续的废水处理，进行进一步脱盐和固体废物处理；出喷淋塔的尾气（含H2、其他惰性气体）排空。但该方法存在一些弊端，安全性不够高，会造成浪费。
二、多晶硅尾气回收方法
根据多晶硅尾气 特点和资源回收再利用的处理需求可选择蓄热焚烧一余热回收一二氧化硅回收一急冷塔一盐酸回收一喷淋塔一排放。从生产中排出的烟气直接进入焚烧炉中进行高温氧化反应，分解氯硅烷后排出的高温烟气温度普遍在950℃左右，进入余热回收设备降温并回收烟气中的余热，利用烟气的余热间接加热脱盐水，使其变成蒸汽回用；烟气经余热回收设备降温后进入过滤器进行气固分离，去除烟气中的SiO2粉尘；除尘后的烟气进入急冷塔，通过水的喷淋降低烟气温度，喷淋降温塔出来的盐酸经过石墨换热器与冷却水换热冷却后进入喷淋装置继续对烟气进行降温，除尘降温后的烟气进入盐酸回收装置回收盐酸，剩余烟气中少量的Cl2和HCl通过碱液淋洗塔淋洗，后经气水分离器将处理后的烟气通过引风机进入烟囱排放。
