半导体尾气处理

半导体尾气处理技术，是半导体制造中必不可少的环节。在半导体工业中，为了提高产品的质量和产量、降低成本、改善劳动条件以及保护环境等目的而采取的各种措施和手段的总称。其中，对生产过程中排放的废气的处理是环境保护的重要内容之一。本文主要介绍半导体工厂废气处理的现状及发展情况；重点分析目前国内外采用的各种净化方法；最后针对国内企业所面临的环保压力提出一些建议和设想。

概况：

1、污染物的来源与危害：

在电子工业中，以氮氧化物（nox）为主体的废气约占总排风量的60%~70%。nox是一种无色无味的有毒气体，其化学性质非常活泼且具有强烈的氧化作用。当它进入大气层后就会迅速扩散到整个地球表面并被空气和水体吸收并发生反应生成硝酸盐或硫酸盐等无机物随降水降落地面形成酸雨（so2）。同时由于它的氧化性很强会直接破坏臭氧层的结构造成全球性的温室效应使地球气温升高进而导致一系列的环境问题如酸雨腐蚀建筑物、影响农作物生长等等；因此控制好nox的含量已成为各国政府关注的焦点也是世界各国制定相关政策的主要依据之一。此外在生产过程中还产生大量的vocs（挥发性有机物），这些物质不仅会造成环境污染而且会对人体健康造成很大的伤害。

2、治理现状：

目前世界上大多数国家都采用湿式电除尘器来净化尾气中的粉尘颗粒并将其回收利用从而实现减排的目的。然而对于含有大量水蒸气的含硫化合物来说湿式电除尘器并不能很好的解决其污染问题。近年来随着我国经济的迅速发展以及人们环保意识的不断增强国家对环境保护越来越重视并且制定了相关的法律法规要求企业在生产的过程中要遵守国家的相关规定进行污染物排放的控制工作以确保环境的可持续发展。

因此很多企业纷纷开始寻找新的治理途径来解决企业的排污问题例如：

活性炭吸附法、光催化降解法、低温等离子体法以及燃烧炉焚烧技术等等。