芯片尾气处理

芯片尾气处理（semicond ctorexhastgasremoval）是近年来发展起来的一项新兴技术，它主要针对半导体器件在生产、封装过程中产生的含硫、氮的气体进行处理。目前该领域的工作主要集中在对半导体材料表面进行改性处理，以降低其表面吸附的杂质含量和气体的释放量等。然而这些措施并不能从根本上解决这一难题，因为当污染物在半导体材料中扩散时会产生二次反应并产生新的污染问题；同时由于金属氧化物颗粒与空气接触后会发生氧化还原反应生成二氧化硅或二氧化钛等产物，从而进一步加剧了材料的腐蚀过程。因此如何从源头上控制污染物的产生以及如何将已生成的污染物有效地去除掉成为的主要方向。本文结合笔者来的工作提出了一种基于光催化技术的处理方法：采用纳米金催化剂来分解空气中的硫化物和氮氧化物分子，以达到净化环境的目的。

一、引言：

近年来随着电子产业的飞速发展以及人们对环保问题的日益重视，使得人们开始关注起生产过程中的废气处理问题。而作为电子工业中的重要组成部分-集成电路的生产过程所产生的尾气的治理也引起了人们的广泛关注，其中最为突出的问题是排放出的有害气体不仅会危害到操作人员的健康而且还会对生态环境造成破坏。因此为了减少环境污染的产生以及对环境的保护和恢复提出了更高的要求。

目前国内外对于集成电路生产中所产生的废气的处理方法主要有两种方法即燃烧法和吸收法，这两种方法虽然都能达到一定的效果但是都存在一些不足之处如燃烧法需要大量的能量且能耗较高；而吸收法虽然可以有效的去除部分有害物质但存在一个最大的缺陷就是无法消除有害物质的存在并且不能回收再利用；

另外由于上述两种方法的局限性使得其在实际应用中也存在着许多的问题如：

（1）由于传统燃烧法的缺点使其在实际应用上受到限制。

（2）传统吸收法的弊端。

（3）在应用过程中所存在的安全问题。

（4）难以实现资源的循环利用。

二、光催化技术概述：

光催化剂的定义及作用机理：

光催化剂是指能够将光能转化为化学能的物质称为光生载流子（photocatalyst）。