飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）的优点

飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）在应用中可解决的问题：

（1）当产品表面存在微小的异物，而常规的成分测试方法无法准确对异物进行定性定量分析，可选择TOF-SIMS进行分析，TOF-SIMS能分析≥10μm直径的异物成分。

（2）当产品表面膜层太薄，无法使用常规测试进行成分分析，可选择TOF-SIMS进行分析，利用TOF-SIMS可定性分析膜层的成分。

（3）当产品表面出现异物，但是未能确定异物的种类，利用TOF-SIMS成分分析，不仅可以分析出异物所含元素，还可以分析出异物的分子式，包括有机物分子式。

（4）当膜层与基材截面出现分层等问题，但是未能观察到明显的异物痕迹，可使用TOF-SIMS分析表面痕量物质成分，以确定截面是否存在外来污染，检出限高达ppm级别。

飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）优点：

1.超高真空(<10-7Pa)下测试，确保样品表面信息的真实性

2.高灵敏度（~ng/g量级>

3. 纵向、横向高分辨率

4.可以完成所有元素低浓度半定量分析（AES:轻元素分析; x-ray电子

能谱:重原子分析)

5.可以检测同位素、分析化合物

6.可逐层剥离，实现各成分的纵向剖析（AES、X-ray电子能谱只能分析

纵向新生成的表面)

铄思百检测飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）注意事项：

（1）样品最大规格尺寸为1×1×0.5cm，当样品尺寸过大需切割取样。

（2）取样的时候避免手和取样工具接触到需要测试的位置，取下样品后使用真空包装或其他能隔离外界环境的包装， 避免外来污染影响分析结果。

（3）TOF-SIMS测试的样品不受导电性的限制，绝缘的样品也可以测试。

（4）TOF-SIMS元素分析范围H-U，包含有机无机材料的元素及分子态，检出限ppm级别。

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