昆山洁净车间建设设计方案和标准-冠石净化

这种形式的洁净隧道是将洁净工作台相互连接在一起,并取消中间的侧壁,组成生产需要的隧道型生产线。当工艺要求垂直层流时,可选用垂直层流工作台。当工艺要求水平层流时,则选用水平层流工作台。这种净化方式较全室净化更易保证局部空间的高洁净度,并由于工作台相互连接,可以减少或防止交叉污染。此外,对建筑的要求比较简单,只要求具备乱流洁净室的环境即可。其缺点是洁净工作台的尺寸固定,使操作面缺乏足够的灵活性,工艺设备必须适应工作台的尺寸,调整起来也不大方便。
这种形式的洁净隧道是将洁净棚,即棚式垂直层流单元串联在一条生产线上所组成的。根据工艺要求,洁净棚的面积可以变化,空气可以全部为室内循环式,也可连通集中式净化空调系统,吸取部分新风。棚式洁净隧道适合于工艺设备较大的场所。

这种形式的洁净隧道是将层流罩,即罩式垂直层流单元串联在一条生产线上所组成的。由于层流罩的进深比洁净棚小,只适用于工艺设备较小的场所。空气循环方式与棚式洁净隧道和台式洁净隧道相同,是目前采用较多的一种洁净隧道。
这种形式的洁净隧道是由集中式送风系统的满布过滤器的静压箱所组成的。层流工作区的宽度可依照工艺提出的要求确定,而不像台式、棚式和罩式洁净隧道那样,因局部净化设备的尺寸而限制层流工作区的宽度,设计可以更为灵活。采用这种形式时,回风可以通过技术夹道,也可像图这样,在乱流操作活动区设置地沟。此外,工业管道可布置在工作区的沿壁板一侧,排风管接至地沟。

洁净室大频率风向上风侧有烟囱时,洁净室与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍,洁净室与交通干道之间的距离不宜小于50米。周围应进行绿化,可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区,但不得妨碍消防操作。
洁净室的建筑平面和空间布局,应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调,并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能(地震区应符合抗震设计规定),厂房变形缝应避免穿过洁净区。
送、回风管和其他管线需暗敷时,应设置技术夹层、技术夹道或地沟等;穿越层的竖向管线需暗敷时,宜设置技术竖井。
洁净室内应设置人员净化、物料净化用室和设施,并应根据需要设置生活用室和其他用室。 此外,在进行空间设计时,还要注意仔细考虑生产洁净区与相关的辅助生产区之间的关系,必须使空间布置做到有效、灵活。