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SEM测试常见问题汇总(一)

2023-08-18 16:09 作者:铄思百-add  | 我要投稿

SEM电镜的主要原理就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
在测试的过程中我们经常会遇到许多问题,现在我们对遇到的一些问题进行了整理。希望能帮助到大家解决SEM测试时的相关问题。


1, 气凝胶样品怎么制备比较好?
根据不同类型的气凝胶,参考粉末样品制备方法,需要注意的是优选液体导电胶固定样品。
2, 什么样的样品可以液氮脆断?
液氮脆断法主要用于高分子材料断面观察,高分子材料有一定的韧性,直接剪短,断面就不够清晰,但放入液氮中,可以实现脆性断裂。
在测试中,有一些细柱状的样品,比如螺钉,用液氮辅助淬断也有很好效果。
3, 磁性粉末如何消磁?
磁性在制样时,原则就是要少,上电镜前可在消磁器上消个磁再上电镜
4, 在拍摄部分样品SEM图片中能看到明显的电子束黑斑,这如何去除界面里的电子束斑呢?
电子束黑斑有可能是样品比较脏,发生了积碳,建议制好的样品注意保存环境或者及时测试。
5, 同一个样品为什么不同仪器上拍摄出的效果不同呢?
若拍照参数设置相近的话,效果不会有太大不同;只有不同仪器在拍摄时,参数(探头,电压,束流等)设置不同,具体哪些参数的影响,需要针对拍摄结果来分析。
6, SE2是不是加速电压小,照片清晰度要好一些?
如果只考虑电压的话,电压越高,分辨率和信噪比就会更好,更清晰;电压小图像越清晰,应该是针对有表面细节结构的样品,在较低电压下,可以看到样品的表面细节,高电压下,作用区比较深,看不到细节。
7, 多大的放大倍数可以看到金颗粒?
镀膜颗粒度受靶材,样品和镀膜仪(真空度,工作原理等)的影响,对于Au靶材的话,一般放大倍数在几万倍下就可以看到的。
8, 喷金,喷铂,喷碳的具体应用场景是哪些?
Au,Pt,Cr等金属靶材,可以增加二次电子和背散射电子的产生,有较好的信噪比,也可以减少电子束的穿透,目的是获取较高质量的图像。
C靶材,适用于EDS,EBSD,WDS等成分的分析。
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