XPS测试制样要求

XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能（binding energy，Eb=hv（光能量）-Ek（动能）-w（功函数））为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。X射线光电子能谱因对化学分析最有用，因此被称为化学分析用电子能谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）。

XPS在测试时需要预处理，在这里提供一些XPS制样要求以及注意事项，希望能够帮助大家。

注意事项：

样品含S，F，I，Br，Hg等挥发性元素单质不能测试，以免污染高真空系统，元素含量低于5%需说明，磁性样品一定注明是否有磁性。

当测试薄膜块状的样品时，其表面常含有环境中的杂质元素，由于XPS测试深度只有0.5-10 nm，所以需要进行表面清洁，一般通过氩离子刻蚀来去除。

XPS测试的元素范围是Li-Cm, H,He元素不能测试。

样品要求：

粉末样品：10-20 mg或2 ml以上，粉末必须干燥，尽量研细，样品无腐蚀性、挥发性元素。

固体样品：尺寸小于5*5*3 cm，标清正反面，样品需干燥、表面平整。

液体样品：样品必须可以在铝箔或者硅片等载体上烘干后形成液膜测试，不能被干燥的样品无法测试。

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