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CVT真空化学气相输运系统的生长制备工艺流程

2023-07-05 15:43 作者:淇TuT  | 我要投稿

为生长制备优异性能的低维材料,采用真空化学气相输制备(又称CVT法,化学反应助升华法)是目前广泛采用的方式,该方法原理是利用化学可逆反应在不同温度下反应朝不同方向进行而生长晶体的方法 ,

具有设备简单、成本低效率高、生长温度低和晶体质量高的突出特点。


(上图分别为 真空封管机 和 高真空分子泵真空机组)


(上图是CVT高真空封管系统布置图)

SHIWEI是维- CVT高真空封管系统,主要包括单工位高真空封管机、分子泵真空机组、高温熔融模块等部分组成,该系统可以满足块体、粉末、薄膜等样品真空(保护气氛下)生长制备、真空还原,广泛适用于二维材料(0D/1D/2D),热电材料,能源材料,光电材料,半导体材料,金属材料,纳米材料,磁性材料,超导材料等材料器件生长制备,已经被全球众多高校、科研院所和企业使用,特别是材料实验,科学研究和先进材料研发等领域,成为众多先进材料实验研发的必备专用仪器。


(上图分别为 热电材料生产制备工艺流程 和 1T相T M D材料样本)

真空封管系统主要适用于对材料样品在石英试管中真空环境状态下(或保护气氛下)完成封管;在试管预抽真空后,试管管壁材料经高温熔融并在外部大气压的作用下和管内石英柱体融接在一起而形成真空密封。该系统可密封的试管材料可以是普通的硼酸盐玻璃也可以是石英玻璃,设备可通过变换不同的卡套连接各种外径的试管。

试管在真空密封过程中的旋转速度可以在一定的范围内进行调节,方便配合不同管径试管和焊枪的使用。封管机自带放气和充气装置。高温管式炉(可选配置):控制系统国际领先,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(PID控制)、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可通气氛抽真空(选配)等特点,主要用于高性能材料制备,材料的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积(CVD)、CVT工艺等。可应用于高等院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。

(上图分别为  CVT生长材料和  CVT合成生长MoS2)

CVT真空封管系统主要技术指标

1.CVT高真空封管机系统由高真空封管机、高真空分子泵真空机组、专用水焊机等部分组成,也可以与高温管式炉组成CVT化学气相输运系统以及CVD化学气相沉积系统使用。

2.封管机真空漏率:2x10-9Pa·m3/S(经氦质谱检漏);

3.可密封石英管管径/长度:Φ10、Φ15、Φ20mm等/150-450mm;

4.可密封石英管壁厚:1-2mm

5.封管状态:竖直/水平

6.可密封对象:固体/液体/气体,包括块体、薄膜、粉末、液体和器件等;

7.旋转速度:0-20r/min可调;

8.真空接口:KF16/KF25

9.充气接口:6-8mm;

10.电源: 220V/380V±5% ,50Hz;

11.专用水焊机产气量:600L/H;

12.专用水焊机火焰最高温度:约2800℃;

13.封管机真空测量:电阻真空计/全量程真空计

14.充气压力测量:压力表

15.选件:真空油泵/干泵/分子泵真空机组;材料样品转移装置(与净化手套箱配合使用);箱式炉/管式炉;电火花真空检测仪;应力测试仪;真空管接头;液氮冷阱;机台;高纯石英管;

设备特点及优势


先进性

系统采用自动化真空封管,满足多种材料器件的快速生长制备及材料样品工艺处理;“二合一”功能--CVT化学气相输运系统+CVD化学气相沉积系统。可与上下游生长合成、器件构筑制备和表征测量设备仪器无缝兼容扩展。

(SHIWEI是维自主发明专利,专利号:202210373611.5)


实用性

系统设备原理设计先进,结构紧凑,占地面积小,可以放置于实验桌面或通风橱内,目前已被国内外高校、科研院所和企业广泛使用,应用于各种材料生产合成和器件制备。


方便性

系统采用集成模块化设计生产,组装安装调试简单,易于操作方便使用。


兼容性

系统可独立使用并开放兼容,可无缝衔接匹配封管机、净化手套箱,箱式炉/管式炉,镀膜仪,二维材料转移平台等设备。


安全性

满足真空行业关于真空系统设备研发,生产,检验,操作使用等相关标准。

配有安全阀、静电防护及电器线路防爆设计,满足电气工业安全标准,杜绝发生安全事故。


设备安装条件

供电要求

设备供电总功率≤3KW,220V,50Hz,单相三线制(一火一零一地);

插座距离设备尺寸≤2m;

供气要求(根据需要选用)

气瓶经减压之后的气体,氮气/氩气/氦气等安全保护性气体;气压不超过-0.6bar

尺寸(约)

1200*700*1300mm

环境要求

环境温度:5~40℃;

环境湿度:<85%R.H;

室内无大量尘埃,无腐蚀性、五毒,无易燃易爆气体;

禁止在密闭不通风空间内操作使用本系统。

其他要求按照系统操作说明。

技术及售后服务

售后服务

产品质保期为一年;可提供上门培训,技术指导操作等售后服务。

在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏;

在质保期外设备零部件的损坏,提供的配件只收成本费;

交货时提供全套技术文档和资料。



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