派克直线电机在半导体行业应用

   凭借扎实可靠的技术实力，派克T 系列无铁芯直线电机通过高精密的运动控制解决方案，无惧半导体行业晶圆划片机、离子注入设备等应用场景挑战，并交出一份令人满意的答卷。

晶圆划片机是半导体封装环节的重要设备，负责将含有wafer晶圆分割成一个个芯片，因此对切割精度要求相当高，其切割质量与效率将直接影响芯片的封装质量和生产成本。而离子注入设备则是离子掺杂工艺线的关键设备，整机可靠性、生产效率、晶圆注入剂量均匀性和重复性等性能都与直线电机的控制技术密切相关。

无论是晶圆划片机，还是离子注入设备，它们都需要极高的加速以及减速，并且在高速运动过程中需要保持极小的速度波动。同时，半导体生产对于环境温度非常敏感，微小的温度变化就可能导致精度变差。因此，控制直线电机的温升也是非常重要的需求。

针对以上挑战，派克汉尼汾推出 T 系列无铁芯直线电机，在有效控制温升的同时，实现极高的加减速，并且能够在高速运动下带来极低的速度波动。

系列无铁芯直线电机具有以下显著优势：

结构紧凑：

高推力密度，安装尺寸小，可大幅提升设备有效空间

重量轻：

无铁芯意味着更高的加速度及减速度，更高的机械带宽

温升低：

采用工字型结构设计及叠放的绕组设计，改进散热性能，有效提升设备重复精度

安装简单：

固定气隙易于对齐及安装

对于那些对温升控制要求更为严苛的应用场景，派克汉尼汾推荐采用水冷型以及风冷型的T系列无铁芯直线电机，以便帮助客户更好地控制温升。同时，根据客户需求，还可以提供适用于真空环境下的直线电机。

T 系列无铁芯直线电机在半导体行业的应用已经十分成熟，能够有效解决困扰客户的温升干扰问题。目前，T系列已经在国内实现本地化生产，这不仅提升了产品的定制化能力，还能有效缩短供货周期，更好地服务客户。