罗茨水环泵真空机组

这种机组主泵是罗茨泵，前级泵是水环泵或油环泵。主要用于真空压力浸渍和真空冷冻干燥等设备中。罗茨水环泵机组常见的故障及消除方法见表1。

表1  罗茨水环泵真空机组常见故障及消除方法

罗茨滑阀泵或罗茨旋片泵机组 

这种真空机组主泵为罗茨泵，前级泵采用滑阀泵或旋片泵。

在1×10-3~10Pa范围内有大抽速，结构紧凑，消耗功率小。真空机组常见故障及消除方法见表2。

表2  机组常见故障及消除方法

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