氦质谱检漏经常会用到真空的概念，真空检测灵敏度高、定位准确，同时也可以实现较大容器或更复杂结构产品的泄漏检测。

目前国际上，真空度的计量单位各国不同，常用单位有帕（Pa），巴（bar），毫巴（mbar），托（Torr），毫米汞柱（mmHg）。

各种单位的换算关系如下：

根据不同真空获得设备和测量设备所能达到的真空度，我们把真空范围根据真空度进行了分类，如下表所示。

压力单位换算

计量压力的单位是帕斯卡。该单位是以法国数学家、物理学家、作家兼哲学家布莱兹·帕斯卡（1623–1662 年）的名字 命名。根据公式单位帕斯卡是由 Pa = N m-2 组成。 单位 mbar、torr 以及下表中所示的单位是实际使用中常见的。

常用漏率单位换算单位

常见泄漏的漏率

日常生活中，泄漏无处不在，下表列出常见的漏率：

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