半导体生产工艺及污染物的产生与处理方法


单晶硅片生产工艺及产污环节:

电子变压器生产工艺及产污环节:

印刷电路板生产工艺及产污环节:

污染物处理工艺:

华林科纳所采购刻蚀设备的客户当中,有的环保要求比较高,需要环保设备与刻蚀设备配套,进行刻蚀当中产生的污水处理,下面用含氟废水工艺处理举例:

Ksp=2.7 x 10-10 常温:
1、18℃时,CaF2在水中的溶解度为16.3mg/l,折合F-约为7.7mg/l
2、用石灰中和产生的CaF2沉淀是一种细微的结晶(大多数都小于3um),其沉降速度极为缓慢。
3、若废水中含有如NaCl、Na2SO4、NH4Cl等一定数量的盐类时,因为强电解质的盐效应,会增加CaF2的溶解度,降低了除氟效果。
4、钙盐沉淀法用于处理低氟浓度废水效果不佳,主要是因为诱导沉淀形成的晶核很难生成, 此时可采用加入新形成的CaF2 沉淀作为晶种,可增强除氟效果。
Ksp = [Ca2+]x[F-]2 = C:
1、实际投加过量石灰乳,即使pH>12,也只能使F-浓度降至15mg/l左右,且水中悬浮物含量很高。
2、在任何pH下,F-浓度均随着Ca2+浓度的增加而降低;尤其在Ca2+过剩量小于50mg/l时。
3、因此在实际处理过程中,常常在已投加石灰处理的含氟废水中加入另一种易溶钙盐如CaCl2等, 利用同离子效应,使CaF2的溶解平衡和溶解度受到影响, 从而析出更多的CaF2沉淀。。
4、工程中可采用投加更多的Ca(OH)2与HCl反应,生成CaCl2来实现同离子效应。

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