白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。

白光干涉仪用途

马尔全新白光干涉3D形貌测量仪，是一款基于新创的ICA技术研发而成的超精度3D表面计量设备。能够以亚纳米级的分辨率，非接触式测量和分析产品3D表面形貌。

包括：轮廓几何测量（长度、宽度、深度、角度等）、表面粗糙度、平整度、翘曲、颗粒分析、涂层厚度、摩擦磨损、面积、体积等。

广泛适用于光学行业、半导体行业、新能源、汽车行业、医疗技术、表面技术、精密加工等领域。

白光干涉3D形貌测量仪 MarSurf WI 系列产品特性

• 高测量速度 - 即使在高分辨率下也是如此

• 高纵向分辨率 - 最小测量噪点可达0.08nm

• 高横向像素分辨率 - 5百万像素相机

• 手动或CNC功能

• 通过全方位的碰撞检测来保护样品和设备的安全

• 自动高清拼接：即使在较大的测量区域，分辨率也始终很高

• HDR - 功能16位