三维轮廓测量仪有接触式和非接触式两种。三本精密仪器小编讲解三维轮廓测量仪的主要检测功能

一、接触式

接触式三维轮廓仪是通过传感器（传感器的测端是一根很尖的触针）将被测表面的微观起伏转换成电信号，再经放大、运算处理后由积分表指示出Ra值，或将信号送入记录仪画出轮廓图形。简单来说就是通过将待测物体的表面滑过测针以获取表面轮廓参数。

例如角度处理（坐标角，Y坐标的角度，两线之间的角度），圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，圆的处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，直线到切点的距离），点线处理（两条线的交点，交点到直线的距离，交点和交点之间的距离，交点到圆心的距离），直线度、形状参数、槽深、槽宽、对数曲线、凹槽深度、凹槽宽度、凹槽曲率半径、凹槽余量、凹槽中心距离、轮廓、水平距离等。

测量圆锥滚子轴承表面

测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。

1、一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数，显示Ra参数和Pt参数；

2、表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数等多参数评定；

3、表面轮廓评定：评定半径、角度、距离、坐标、圆、圆截面；确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度、轮廓度分析等；

4、形状误差测量：非球面形状误差测量、直线形状误差测量、弧面形状误差测量；

二、非接触式

非接触式三维轮廓仪也叫光学3D表面轮廓仪、白光干涉仪、光学轮廓仪等，是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。

主要用于对各种精密器件表面进行纳米级测量，仪器通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

主要测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

测量原理是以白光干涉技术原理，照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。

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