《炬丰科技-半导体工艺》LED的发光特性

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：LED的发光特性

编号：JFKJ-21-309

作者：炬丰科技

摘 要

  为了研究图形化蓝宝石衬底的 结 构 和 形 貌 对 ＧａＮ 基 发 光 二 极 管（ＬＥＤ）光 学 性 能 的 影 响 ，对 ＰＳＳ的制备工艺和参数进行了调控 ，从而形成具有不同填充因子的蒙古包形 ＰＳＳ（ＨＰＳＳ） 和 金 字 塔 形 ＰＳＳ（ＴＰＳＳ）两 种 衬 底 ，用于生长和制备蓝光 ＬＥＤ 芯 片 。 通 过 对 ＴＰＳＳ－ＬＥＤ 的 光 学 性 能测试和分析得到 ，随 着 ＰＳＳ填充因子的增大 ，ＬＥＤ 的光输出功率也增大。

关 键 词 ：图形化蓝宝石衬底（ＰＳＳ）；填 充 因 子 ；发 光 二 极 管（ＬＥＤ）；ＧａＮ

实验

   实验中，使用ｃ面蓝宝石衬底，其直径为６０ｃｍ，厚为３４０ｍｍ。采用传统的光刻、湿法腐蚀和电感耦 合等离子体刻蚀（ＩＣＰ）方法制备 ＰＳＳ，通过改变光 刻和ＩＣＰ刻蚀的工艺参数制备出不同形貌的 ＨＰＳＳ 和 ＴＰＳＳ衬底，并拥有不同填充因子。

实验结果和讨论

  从图１可以看出，ＨＰＳＳ和 ＴＰＳＳ两种衬底的直径、间隔以及深度基本 相 同，依 次 为２．５、０．５和１．６ μｍ，形貌呈周期性排列。

结 论

  通过对 ＰＳＳ的 制 备 工 艺 和 参 数 的 调 控，形 成 不 同Ｆ 和 ＨＰＳＳ和 ＴＰＳＳ，并 利 用 不 同 的 ＰＳＳ制 备 相 同结构的 ＬＥＤ器件。