超纯水设备的应用为硅晶圆生产送去高品质超纯水

　　硅晶圆是一种半导体材料，在经过照相制版，研磨，抛光，切片等一系列工序，将多晶硅溶解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。这种硅晶圆在人工智能、物联网和生物医学等领域多有应用。近年来，我国越来越重视硅晶圆的生产，带动了其上下游产业的发展，超纯水设备的应用也在其列。

　　硅晶圆生产与超纯水设备的关系?在硅晶圆研磨、抛光、切片这些工序中少不了其身影，超纯水设备主要是为其送去高品质清洗超纯水，方便其清洗表面的杂质。那么这样的超纯水是如何制备出来的?

　　该设备采用预处理+反渗透+EDI+混床的组合形式来制备超纯水。该设备具有高效低能、运行成本低，水资源利用率高、设备占地较小、维修量小，运行时间长等优点。设备中应用的EDI模块在运行过程中不需要添加任何化学品，不仅减少了化学品运输、排放处理问题，同时降低了系统运行费用。EDI模块不会产生酸碱废液，因此不需要酸碱中和处理。EDI进水为二级反渗透产水，水质较好。即使经EDI系统脱盐后，EDI浓水水质仍优于一级反渗透产水，可回流至一级反渗透产水箱。

　　并且该超纯水设备应用范围非常广泛，可适用于电子、半导体、线路板、集成电路、精密机械的生产和清洗。设备能够连续稳定地制备品质优良的超纯水，其占地非常小，可以为企业节省很多空间，在符合硅晶圆生产用水水质标准的同时可以使水资源的利用率达到≥80%，有效提升了水资源利用率。

　　编辑：柒柒 技术：米

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