法国 PIEZOCONCEPT 位移台 BIO3 系列参数介绍

法国 PIEZOCONCEPT 位移台 BIO3 系列参数介绍

PIEZOCONCEPT致力于包括但不限于超分辨率显微镜、光学诱捕和原子力显微镜的应用。主营产品为单轴，双轴，三轴位移台产品。

BIO3系列是三轴微纳位移台，根据行程不同分为三种型号，可以配合显微镜搭配适配架使用

型号：BIO3.100

行程：100um

分辨率：0.1nm

底板噪声：0.01nm-typ

重复性：0.2nm

线性度：0.0002typ

谐振频率：500/400/400Hz

刚性：0.6/0.5/0.5N/um

传感器：SILICON HR SENSOR

材料：铝

线缆长度：2m

水平负载：1kg

纵向负载：0.5kg

型号：BIO3.200

行程：200um

分辨率：0.2nm

底板噪声：0.02nm-typ

重复性：0.4nm

线性度：0.0002typ

谐振频率：400/350/300Hz

刚性：0.5/0.4/0.4N/um

传感器：SILICON HR SENSOR

材料：INVAR

线缆长度：2m

水平负载：1kg

纵向负载：0.5kg

型号：BIO3.300

行程：300um

分辨率：0.3nm

底板噪声：0.03nm-typ

重复性：0.6nm

线性度：0.0002typ

谐振频率：300/250/250Hz

刚性：0.4/0.3/0.3N/um

传感器：SILICON HR SENSOR

材料：INVAR

线缆长度：2m

水平负载：1kg

纵向负载：0.5kg