80年代中国电子工业成就（二）

1981年，上海光学机械厂，JKG-3型半自动接近式光刻机； 1982年，四机部1448所，我国第一台高精度电子束曝光机； 1983年，国防科技大学，我国第一台亿次巨型计算机-银河1号； 1983年，中科院计算所，我国第一台千万次大型向量计算机-757机； 1983年，中科院半导体所，LSK-500型离子束刻蚀机； 1985年，华东计算技术研究所，我国第一台与国际主流系统兼容的8030中型计算机； 1985年，电子部48所，我国第一台三室结构的FW-1型分子束外延设备； 1987年，电子部48所，我国第一台能量为700keV的高能离子注入机； 1988年，机械电子部48所，LD-1型离子束刻蚀镀膜机； 1990年，中科院光电所，国内首台1.5-2微米DSW投影光刻机， 1992年，国防科技大学，我国第一台10亿次巨型计算机-银河2号； 1995年，电子部45所，BG-601型大面积自动曝光机