《炬丰科技-半导体工艺》处理硅和氮化物膜的技巧

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：处理硅和氮化物膜的技巧

编号：JFKJ-21-294

作者：炬丰科技

保持膜面朝上

  如果膜面朝下放在一个表面上，就有可能膜或表面会破裂将会被污染。建议薄膜始终保持面朝上。区分蚀刻凹坑(后面)和膜(前面)之间的区别很容易用眼睛分辨出来。不同的是下面的插图。

  在可能的情况下，选择设备的边缘轻轻挤压胶囊正对的部分，从包装中取出膜(见右图)。小心不要触碰中心膜。

薄膜一旦从包装中取出，就应该放在干净的表面上(例如清洁室擦拭)和拾起的边缘只(见左图)。

使用干净柔软的镊子工作

略

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