Tedea传感器1250-500Kg
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压阻式力敏传感器有灵敏度高、精度高、体积小、重量轻、工作频率高、结构简单、工作可靠、寿命长等特点。
电容式力敏传感器近来得到了迅速发展,这种传感器的核心部分是对压力敏感的电容器。力敏电容器的电容量是由电极面积和两个电极间的距离决定。
当硅膜片两边存在压力差时,硅膜片产生形变,电容器极板间的间距发生变化,从而引起电容量的变化。这样,电容变化量与压差有关,因此,就可作为力敏传感器。它与压阻式力敏传感器相比,具有灵敏度高、温度稳定性好、压力量程大等特点。表5-1 是按工作原理对力敏传感器进行分类,本章主要介绍半导体应变片构成的力敏传感器的应用技术。