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涡轮分子泵为什么能够在磁悬浮技术中有所应用?-深圳华尔升

2022-09-05 16:07 作者:华尔升智控  | 我要投稿

分子泵作为获取真空环境的核心设备,在半导体和薄膜工业、核物理和表面科学等领域具有广阔的应用前景。

分子泵大致可分为以下三类:

1)牵引式分子泵:气体分子与高速旋转的转子发生碰撞,获得动能,分子泵被驱动到泵的出口。

2)涡轮分子泵:采用高速旋转的动叶片和静叶片相互配合,实现泵送分子泵。

3)复合分子泵:可在高压区域保持较高的泵送性能在原涡轮分子泵的高压侧配置螺旋牵引分子泵,串联两个泵的泵单元。

那么为什么涡轮分子泵能够在磁悬浮技术中有所应用呢?原来是因为分子泵中的磁悬浮轴承。轴承是分子泵的关键部件,具有其他轴承不可替代的优势:

1)不需要任何润滑油,实现无油化。

2)由于转子与定子之间没有机械接触,轴承的使用寿命很长。

3)与传统轴承相比,转子可以以非常高的速度运行。

4)振动和噪声很低。

5)泵的安装姿态不受限制,可任意角度安装。

那么以上内容就是涡轮分子泵为什么能够在磁悬浮技术中有所应用的相关解答,希望对大家有所帮助~

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