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AFM工作原理是什么?

2022-10-18 11:25 作者:sousepad材料检测  | 我要投稿

        AFM全称Atomic Force Microscope,即原子力显微镜,在AFM中,使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描。当针尖和样品表面的距离非常接近时,针尖尖端的原子与样品表面的原子之间存在极微弱的作用力(10-12~10-6N),此时,微悬臂就会发生微小的弹性形变。针尖与样品之间的力F与微悬臂的形变 之间遵循虎克定律:F=-k*x ,其中,k    微悬臂的力常数。所以,只要测出微悬臂形变量的大小,就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系,所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖与样品之间的作用力恒定,即保持为悬臂的形变量不变,针尖就会随样品表面的起伏上下移动,记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。这种工作模式被称为“恒力”模式(Constant Force Mode),是使用最广泛的扫描方式。

AFM工作原理

        AFM的图像也可以使用“恒高”模式(Constant Height Mode)来获得,也就是在X,Y扫描过程中,不使用反馈回路,保持针尖与样品之间的距离恒定,通过测量微悬臂Z方向的形变量来成像。这种方式不使用反馈回路,可以采用更高的扫描速度,通常在观察原子、分子像时用得比较多,而对于表面起伏比较大的样品不适用。

AFM有三种操作模式,分别是接触式,非接触式以及轻敲式。

    (1)接触式:利用探针和待测物表面之原子力交互作用(一定要接触),此作用力(原子间的排斥力)很小,但由于接触面积很小,因此过大的作用力仍会损坏样品,尤其对软性材质,不过较大的作用力可得较佳分辨率,所以选择较适当的作用力便十分的重要。由于排斥力对距离非常敏感,所以较易得到原子分辨率。

        (2) 非接触式﹕为了解决接触式之AFM 可能破坏样品的缺点,便有非接触式之AFM 被发展出来,这是利用原子间的长距离吸引力来运作,由于探针和样品没有接触,因此样品没有被破坏的问题,不过此力对距离的变化非常小,所以必须使用调变技术来增加讯号对噪声比。在空气中由于样品表面水模的影响,其分辨率一般只有55nm,而在超高真空中可得原子分辨率。

        (3) 轻敲式﹕将非接触式AFM 改良,将探针和样品表面距离拉近,增大振幅,使探针再振荡至波谷时接触样品由于样品的表面高低起伏,使的振幅改变,再利用接触式的回馈控制方式,便能取得高度影像。分辨率介于接触式和非接触式之间,破坏样品之机率大为降低,且不受横向力的干扰。不过对很硬的样品而言,针尖仍可能受损。

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