氦质谱检漏仪的工作原理-深圳华尔升

氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，主要利用质谱分析技术来检测氦气的存在，从而找出设备或系统中的微小漏洞。以下是氦质谱检漏仪的基本工作原理：

充填氦气：在检测过程中，要将待检设备充满氦气或氦气混合气体。氦气的分子小，能通过极小的孔洞，因此它是一种理想的检漏气体。

气体采集：在待检设备的外部，质谱检漏仪的探测器会不断地采集气体样本。

气体离子化：采集的气体样本会被引入到检漏仪的离子源中，离子源通过电压电离气体分子，将其转化为离子。

离子加速和聚焦：电离后的气体离子在电场的作用下被加速并通过聚焦系统，形成离子束。

质谱分析：离子束进入质谱仪，根据离子的质量/电荷比，离子在磁场中的运动轨迹会发生弯曲，轨迹的弯曲程度与离子的质量/电荷比成正比。因此，通过测量离子的运动轨迹，可以确定离子的质量，从而分析出气体样本中的成分。

检测氦离子：质谱检漏仪会对所有离子进行检测，但只有氦离子的信号会被记录和显示。如果检测到氦离子，说明待测设备存在漏洞。

定位漏点：根据氦离子信号强度的变化，可以定位到漏洞的大致位置，然后通过缩小探测范围，逐步找出漏洞的精确位置。

总的来说，氦质谱检漏仪就是通过检测氦气的离子来找出设备或系统中的漏洞。这种检测方式既高效又准确，特别适合用于寻找微小的、难以发现的漏洞。

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