电子元器件废气处理工艺

电子元件是电子工业的基础，其产品-般包括电容器、电阻、电位器、电连接元件、控制元件，以及敏感元件和传感器等，电子元件产品具有种类多、生产工艺差别大，生产线更新变化快的特点，加工工艺一般涉及机械、化工、热加工或配制等多种工艺的组合。在电子元件制造车间环境中，工人长时间工作时大量VOC的排放对人体的身体造成了巨大的威胁。

1.行业VOCs排放特点

电子产品制造行业的VOCs排放浓度较高平均排放浓度在55mg/m3左右，收集或者处理程度比较低。目前存在的难题是：

(1)该行业的部分生产线变化性较大，而且更换周期不定。

(2)VOC排放浓度在各个工艺之间差异较大，这对VOC集中收集造成了不小的难度，对该行业VOC排放标准的制定也有很大影响。

2.行业VOCs治理技术

目前电子产品制造行业使用的有机废气治理技术主要包括活性碳吸附法、蓄热式催化燃烧法。

(1)活性碳吸附法

        在电子产品制造行业的电路板清洗过程中，大量的有机溶剂如异丙醇等在使用过程中挥发，通过超声波清洗剂上方局部排风系统收集，目前通常采用固定床活性炭吸附装置处理后排放。活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物的吸附能力较强，一般用来净化较低浓度的三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、四氯化碳、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸、乙酯等。

(2)蓄热式催化燃烧法(RCO)

       与蓄热式燃烧法(RTO)不同，RCO催化燃烧所需的反应温度更低(一般在500 oC下)，且不会产生NOx等二次污染物。催化燃烧法的关键是催化剂，按催化剂活性组分可分为贵金属(Pt、Pd、Au等)和过渡金属金属氧化物(如Cr2O3、CuO、MnOx等)催化剂，覆盖于载体表面。催化燃烧一般反应为:CxHy + O2 → CO2 + H2O + 热量，(碳氢化合物，有害)→(无害)

       RCO催化燃烧系统是在一定温度下废气中VOC与催化剂作用发生催化氧化反应，去除效率可达99 %，采用蓄热材质(如陶瓷)的催化室可大幅减少热量的损耗。