在气体管路工程，尤其是氢气管路等工程中，因为施工装配等原因，管路之间的连接处会存在一些肉眼差距不到的漏孔，这在使用时会导致泄露以及安全事故。尤其是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，将对生产安全产生很大影响，因此泄漏检测非常重要。

工艺上对于纯度要求高的气体一般都需做氦检，甚至要求气体管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送气，通常气体的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上。

气体管路密封的氦检漏规定一般如下：

1、氦检漏仪应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦质谱检漏仪

特种气体管道氦检漏注意事项：

氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。

氦检漏的主要方法有：喷吹法、吸入法、氦罩法和背压法。氦质谱检漏仪具有操作简便、准确可靠、安全高效、成本较低、用途广泛等特点，而氦气的分子非常小，仅次于氢气，可侦测出非常小的漏点。

高纯氦气、氢气管道用于输送氦气、氢气。管道主要用镀锌管，法兰，三通阀门，止逆阀门连接来进行气体的输送调节，具有良好的机动性能。考虑安全性和成本考虑，防止氦气或者氢气的泄漏，需要对组装完成的管路进行检漏。

氦气管道检测同样适用于氢气管道检测，采用氦质谱检漏仪正压法检测。氦质谱检漏仪正压法检测方法：

在无横风条件下，将氦气管道进行密封留一个检漏口，先抽真空然后充入0.1Mpa压力氦氮混合气体，氦氮比例为1：10，静置30分钟，待氦氮混合气体充分分布于管道内，用吸枪连接检漏仪后对连接口，焊缝等可疑漏点进行吸氦检测。若管道有漏，氦气会被吸枪吸入检漏仪内，超出氦检仪本底值会自动报警，用此方法依次排查直至整个管道检测完毕方可找出所有漏点。

氦质谱正压法检漏

氦气管道检测同样适用于氢气管道检测，采用氦质谱检漏仪正压法检测，具体检测方法：在无横风条件下，将氦气管道进行密封留一个检漏口，先抽真空然后充入0.1Mpa压力氦氮混合气体，氦氮比例为1：10，静置30分钟，待氦氮混合气体充分分布于管道内，用吸枪连接检漏仪后对连接口，焊缝等可以漏点进行吸氦检测。若管道有漏，氦气会被吸枪吸入检漏仪内，超出氦检仪本底值会自动报警，用此方法依次排查直至整个管道检测完毕方可找出所有漏点。

有关于正压吸枪法和负压氦检法的选择，可以根据实际情况来考虑。诺益氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 可满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.欢迎与交流讨论!