国产晶圆划片机之陆芯精密切割优势及工艺
陆芯精密晶圆切割机优势
1.设备精准度高(0.0001mm)
2.切割精度1.5um
3.效率高
4.加工品种多样化(晶圆、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等)
5.成本低(设备、加工耗材、设备保养维护)
6.环境要求低(普通千级无尘车间)
7.操作简单易懂易上手(对标DISCO)
8.售后服务好
9.机器交付周期短

常见切割品种及简单工艺介绍

一、BGA/WAFER类晶圆
切割刀片
SD1000N25MR0207 52D*0.048T*40H
膜型号
LINTEC
主轴转速
28000-30000rpm
切割水流量
Blade 1.0-1.2L/min
Shower 0.8-1.2L/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片

二、二极管、三极管、MOS管类硅片
切割刀片
ZH05-SD4000-N1-70BA
膜型号
SPV224
主轴转速
38000-50000rpm
切割水流量
Blade 1.2-1.5L/min
Shower 1.0-1.2L/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片

三、氧化铝、碳化硅类陶瓷
切割刀片
SDC500-R75TNF 56D×0.15T×40H
膜型号
LINTEC
主轴转速
25000-35000rpm
切割水流量
Blade 1.2-1.5L/min
Shower 1.0-1.2L/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
平均30min/片

四、光学玻璃、浮法玻璃类
切割刀片
SD1000N25MR0207 56D*0.1T*40H
膜型号
LINTEC
主轴转速
28000-35000rpm
切割水流量
Blade 0.8-1.0L/min
Shower 1.0-1.2L/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
平均20min/片

五、QFN/DFN类
切割刀片
SDC320R01Q 58D-0.3T-40H
膜型号
6360-15
主轴转速
21000rpm
切割水流量
Blade 1.2-1.5L/min
Shower 1.2-1.5L/min
校准方式
自动校准
切割效率
5-8min/条

六、PCB/MEMS基板类
切割刀片
D8/20-MDS 56D-0.1T-40H2d/1W/16N
膜型号
6360-15
主轴转速
25000rpm
切割水流量
Blade 1.2-1.5L/min
Shower 1.2-1.5L/min
校准方式
自动校准
切割效率
5min/条

七、碳纤维板、玻璃纤维板类
切割刀片
D8/20-MDS 56D-0.1T-40H2d/1W/16N
膜型号
6360-15
主轴转速
35000rpm
切割水流量
Blade 1.2-1.5L/min
Shower 1.2-1.5L/min
校准方式
手动校准、自动校准
切割效率
20min/片