科研小型磁控溅射镀膜机 磁控溅射金属膜

内配自动电动挡板，可保护样品或清洗靶材。水冷型溅射仪是一种紧凑型全自动溅射镀膜机，使用非常简单。由于独特的插件概念，该设备很容易配置溅射或蒸发，只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
1、样品台旋转，多样品同时镀膜时，镀膜厚度比较均匀。
2、预溅射挡板功能，刚开始镀膜的时候腔室里会有些杂质，挡板可以保护样品，提高薄膜质量
3、带有水冷系统，可以长时间溅射镀膜，厚度可达1微米以上。
4、直流磁控溅射，提高附着力，溅射速率快，比离子溅射快上一个量级。针对某些金属最快能达到1-2纳米每秒，
5、不但可以电镜制样，还可以制作金属电极。
6、可扩展膜厚监测，监测薄膜厚度。
溅射仪使用需注
1 靶材需要良好的导电性, 如果具备这个条件  可以镀
2 遇到容易氧化的金属 需要配备分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氩气维持真空到1Pa左右再开始镀  膜 的金属接近本色