样品的导电性对SEM电镜的影响

材料的微观结构观察通常需要反映最真实的形态结构，许多材料不具有导电性，当入射束SEM扫描电镜和导电性差的样品效应时，电子会在表面形成不稳定的电场，异常的反差可能会使图像的白色或黑色区域产生畸变，严重影响观察，也影响图像的质量，这种现象称为“放电”或“带电“。也就是我们所说的荷电效应。

如何减缓荷电效应

由于材料不同，荷电效应的可见速度有很大差异。如下是一些可以减缓荷电效应的方法：

1. 用喷金设备溅射金膜涂覆样品以减缓荷电。但是需要不要用金膜遮盖了样品表面的细节。

2. 降低样品杯真空。通过选择扫描电镜的降低荷电效应样品杯，可以在样品杯释放稳定的空气分子形成低真空区，高能的电子束可以将空气分子电离形成正离子，试样表面累积的负电荷通过与正离子中和使样品表面保持中性，从而可以采集到稳定和清晰的图像。

3. 降低拍照电流和电子束加速电压。

4. 在样品的非重要部分通过调整图像设置（例如焦点和对比度）来减少观察时间。当设置到正确合适的模式，移动到感兴趣的区域，立即拍照并再次离开。

不导电或导电差的样品，为什么要喷金？

SEM成像，是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好，会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象（charging)，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动等现象，喷金后样品表面导电增强，从而避免积电现象。

喷金后，对样品形貌是否有影响？

样品表面喷金后，只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层，厚度只有几个纳米到十几个纳米而已，对于看形貌来说，几乎是没有什么影响的。但如果要做EDS的话，需要视情况而定。

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