全球与中国静电卡盘市场现状及未来发展趋势（简报）

静电卡盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。该产品广泛应用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、离子注入等高端半导体制造装备。

静电卡盘行业目前现状分析

【地区发展情况】静电卡盘市场主要由 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建，中国大陆成为半导体设备市场规模增长最快的地区，进而推动静电卡盘市场的快速增长。

【高度垄断性】静电卡盘市场具有高度垄断性，主要由日本和美国等企业主导，包括美国应用材料、美国 LAM、日本新光电气、日本 TOTO 等公司。前四大企业占据90%以上的全球市场份额。

 静电卡盘发展趋势

【技术趋势】除所承载晶圆规格尺寸逐步增大之外， 静电卡盘的发展趋势主要表现为温度均匀性控制需求提升，即分区温控温区数量的提高。2000年前后，分区温控温区数量一般为 2 区，2000 年至 2005 年期间，分区温控温区数量一般为4区，而在现阶段，已有超过100温区的静电卡盘产品被研发生产并投入实际应用。

【市场趋势】未来，亚太地区将会快速增长，尤其是中国大陆、台湾、韩国等国家。预计2028年中国、台湾、韩国分别占据全球21.72%，20.21%和17.81%的销量市场份额。

全球静电卡盘市场规模、行业现状概况

2021年全球静电卡盘市场销售额达到了17.14亿美元，预计2028年将达到24.12亿美元，年复合增长率（CAGR）为5.06%（2022-2028）。从销量上看，2021年全球静电卡盘销量为5.54万件，2028年将达到7.99万件。

静电卡盘市场具有高度垄断性，主要由日本和美国等企业主导，包括美国 Applied Materials、美国 LAM、日本新光电气、日本 TOTO、日本 NTK 等公司。美国公司，如 Applied Materials 和 Lam，为自己的半导体设备生产静电卡盘。他们将生产的PVD、CVD等设备配套静电卡盘一起卖晶圆代工厂或 IDM公司，由于静电吸盘属于消耗品，使用寿命一般不超过两年，因此静电吸盘的替换量比较大。

Applied Materials、Lam Research 和 SHINKO 位居 2021 年全球半导体静电吸盘市场收入份额前三名。Applied Materials 以43.86%的收入市场份额占据全球主导地位，Lam Research和SHINKO以31.42%和10.20% 的收入份额紧随其后。

静电卡盘市场主要由 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建，中国半导体设备销售额占全球比例快速上升。2021年，中国静电卡盘市场规模达到了3.19亿美元，预计2028年将达到5.24亿美元，2022-2028年复合增长率（CAGR）为7.16%。

中国和台湾在半导体静电吸盘领域已经有了一定的技术突破。中国大陆企业北京优精密科技有限公司的静电卡盘技术已达到客户要求。台湾公司CALITECH在静电卡盘领域也有一定的突破。

目前中国市场的主要厂商包括：Applied Materials、Lam Research、SHINKO、TOTO、Creative Technology Corporation等，2021年主要厂商（top3）份额占比超过93.52% ，预计未来几年行业竞争将更加激烈。

全球静电卡盘销量及销售额分析

静电卡盘行业供应链分析

【上游情况】上游原材料为氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷。市场集中度较高，多数集中在日本、美国等。

【静电卡盘行业情况】静电卡盘市场具有高度垄断性，主要由日本和美国等企业主导，包括美国AMAT、美国 LAM、日本新光电气、日本 TOTO 等公司。我国北京华卓精科科技开发出 12英寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了国外厂商在该产品领域内的长期垄断局面。

【下游情况】目前国产半导体设备在逐渐替代进口设备，主要的半导体生产设备企业包括中微、沈阳拓荆、北方华创等。

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本报告研究全球与中国市场静电卡盘的产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为2017至2021年，预测数据为2022至2028年。